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申请/专利权人：吉林大学
摘要：本发明公开了一种高精度宽光谱的波长测量装置和方法，属于波长测量技术领域，波长测量装置包括线性滤波器、斐索干涉腔、光电探测器、分光装置和线列探测器。分光装置用于将待测激光分束以得到多个光束；线性滤波器用于粗测激光波长，并由光电探测器得到激光波长的大概范围值；斐索干涉腔基于线性滤波器所测值测得更精确的激光波长值，并由线列探测器得出具体值。波长测量方法运用线性滤波器和斐索干涉腔相结合的测量方式，以线性滤波器测得的波长值作为斐索干涉腔的测量基础，计算更高的级次的波长值，取两个级次处波长的平均值，减小了误差，并且不仅提高了测量速度，还增大了测量光谱范围，提高了测量精度。
主权项：1.一种高精度宽光谱的波长测量装置，其特征在于，包括：分光装置（13）、线性滤波器（14）、光电探测器（15）、斐索干涉腔（16）和线列探测器（17），分光装置（13）用于将待测激光分束以生成第一光束和第二光束，线性滤波器（14）和光电探测器（15）沿着光的传递方向依次配置在分光装置（13）的透射光路上，线性滤波器（14）用于接收第一光束并将光信号调制为光强度随波长呈线性变化的信号，然后由光电探测器（15）检测该信号；斐索干涉腔（16）和线列探测器（17）沿着光的传递方向依次配置在分光装置（13）的反射光路上，第二光束进入斐索干涉腔（16）后发生干涉，产生干涉条纹；线列探测器用于测量所述干涉条纹并得到所述干涉条纹的周期值与相位值。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 吉林大学 一种高精度宽光谱的波长测量装置和方法
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