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申请/专利权人：晶能光电股份有限公司
摘要：本实用新型提供了一种石墨盘，包括：石墨盘本体，其表面包括生长区域和控温区域，生长区域中配置有用于放置生长衬底的凹槽，控温区域配置有用于放置控温衬底的凹槽，所述控温衬底和所述生长衬底使用的材质相同，其中，所述生长区域的凹槽用于放置直径为12英寸大小的生长衬底。在外延生长的过程中，保证了内中外三圈均使用衬底控温模式，提高了外延生长时温度的稳定性和均匀性，有效解决了12英寸生长衬底在外延生长时的内外圈温度不匹配、设备易损坏等问题。
主权项：1.一种石墨盘，其特征在于，包括：石墨盘本体，所述石墨盘本体表面包括生长区域及控温区域；所述生长区域中配置有用于放置生长衬底的凹槽，所述控温区域配置有用于放置控温衬底的凹槽，所述控温衬底和所述生长衬底使用的材质相同；其中，所述生长区域的凹槽用于放置直径为12英寸大小的生长衬底。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 晶能光电股份有限公司 一种石墨盘
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