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基于偏振的双帧干涉图相位提取方法 

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申请/专利权人:北京理工大学

摘要:本发明公开的一种基于偏振的双帧干涉图相位提取方法,属于光电测量技术领域。本发明实现方法为:通过采集系统采集第一张干涉图;在采集系统加入一个偏振片,采集第二张干涉图,第二张干涉图与第一张干涉图的相位差为pi2;通过利用反正切方法获取包裹相位Φ,使用二维快速解包裹算法进行解包裹,从而恢复出被测面形的真实相位,即基于偏振实现双帧干涉图相位提取。本发明仅需要两帧相位差为pi2的干涉图,用极值法处理后直接进行正切反正切的相位提取方法,进而恢复面形。本发明不需要移相器、分光元件等高精度元器件,并且无需对干涉图进行归一化、去噪等预处理操作,具有光路简单、测量范围大、精度高、效率高的优点。

主权项:1.基于偏振的双帧干涉图相位提取方法,其特征在于:包括如下步骤:步骤一、通过采集系统采集第一张干涉图;步骤二、在采集系统加入一个偏振片,采集第二张干涉图,第二张干涉图与第一张干涉图的相位差为pi2;第一帧干涉图的光强表达式为: 第二帧干涉图的光强表达式为: 式中,x为光强矩阵横坐标,y为光强矩阵纵坐标,为相位差,也包括经过器件带来的固有相位移动;A代表背景光强,B代表调制光强;步骤三、极值法求取相位;当为1时MAXI1x,y=A+B3当为-1时MINI2x,y=A-B4由式34求出A,B的数值A=[MAXI1x,y+MINI2x,y]25B=[MAXI1x,y-MINI2x,y]26由式1256得到的数值 由式78知 通过利用反正切方法获取包裹相位Φ,使用二维快速解包裹算法进行解包裹,从而恢复出被测面形的真实相位,即基于偏振实现双帧干涉图相位提取。

全文数据:

权利要求:

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