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申请/专利权人：鼎睿融泽(杭州)企业咨询管理有限公司
摘要：本发明提供一种铝掺杂氧化锌靶材的制备方法及应用，所述铝掺杂氧化锌靶材的制备方法包括以下步骤：1将铝掺杂的氧化锌纳米粉体采用冷等静压压制成型，得到素坯；2将素坯埋入导热砂中在1520‑1550℃的温度下烧结，得到铝掺杂氧化锌靶材。本发明的有益效果为：本发明所述制备方法得到的靶材可以制成表面均匀、厚度在400nm‑1000nm的氧化锌铝掺杂压电膜，所得压电膜可以在直径8英寸以上晶圆表面形成一致性的压电镀膜，且不会开裂、脱模。
主权项：1.一种铝掺杂氧化锌靶材的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：1将铝掺杂的氧化锌纳米粉体采用冷等静压压制成型，得到素坯；2将素坯埋入导热砂中在1520-1550℃的温度下烧结，得到铝掺杂氧化锌靶材。
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