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氮化镓液体传感器 

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申请/专利权人:广东电网有限责任公司;广东电网有限责任公司佛山供电局

摘要:本发明提供了一种氮化镓液体传感器,包括:衬底;外延结构,设置在衬底的上方,外延结构包括缓冲层、沟道层以及势垒层,缓冲层、沟道层以及势垒层在远离衬底的方向上依次设置;吸收层,能够与液体结合,吸收层设置在外延结构的上方。本申请的技术方案有效地解决了相关技术中的检查设备箱内是否存在水珠凝结的效率较低的问题。

主权项:1.一种氮化镓液体传感器,其特征在于,包括:衬底10;外延结构20,设置在所述衬底10的上方,所述外延结构20包括缓冲层21、沟道层22以及势垒层24,所述缓冲层21、所述沟道层22以及所述势垒层24在远离所述衬底10的方向上依次设置;吸收层30,能够与液体结合,所述吸收层30设置在所述外延结构20的上方。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 广东电网有限责任公司 广东电网有限责任公司佛山供电局 氮化镓液体传感器

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