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申请/专利权人：深圳市汇芯通信技术有限公司
摘要：本发明公开了一种PECVD真空泵管道防倒灌的装置及方法，属于半导体技术领域，包括沿真空泵至PECVD设备的腔体的方向依次连接的一级限位导流阀、一级过滤导流阀、二级过滤导流阀以及二级限位导流阀；一级限位导流阀包括第一阀体、第一中心柱、与第一中心柱转动连接的两个第一扇门，以及第一档条；一级过滤导流阀包括第二阀体、第二中心柱、与第二中心柱转动连接的两个第二扇门，以及第二档条；二级过滤导流阀包括第三阀体、第三中心柱、与第三中心柱转动连接的两个第三扇门，以及第三档条；二级限位导流阀包括第四阀体、第四中心柱、两个第四扇门以及第四档条。本发明达到能够防止气体倒灌至腔体，避免引起腔体的污染以及晶圆报废的技术效果。
主权项：1.一种PECVD真空泵管道防倒灌的装置，其特征在于，所述装置包括：沿真空泵至PECVD设备的腔体的方向依次连接的一级限位导流阀、一级过滤导流阀、二级过滤导流阀以及二级限位导流阀；所述一级限位导流阀包括第一阀体、第一中心柱、与所述第一中心柱转动连接的两个第一扇门，以及第一档条；所述第一中心柱与所述第一阀体连接，所述第一档条设置于所述第一阀体，所述第一档条用于阻挡两个所述第一扇门；所述一级过滤导流阀包括第二阀体、第二中心柱、与所述第二中心柱转动连接的两个第二扇门，以及第二档条，所述第二中心柱与所述第二阀体连接；所述第二档条设置于所述第二阀体，所述第二档条用于阻挡两个所述第二扇门，其中所述第二扇门设置有多个第一通孔；所述二级过滤导流阀包括第三阀体、第三中心柱、与所述第三中心柱转动连接的两个第三扇门，以及第三档条，所述第三中心柱与所述第三阀体连接；所述第三档条设置于所述第三阀体，所述第三档条用于阻挡两个所述第三扇门，其中所述第三扇门设置有多个第二通孔，所述第二通孔的直径小于所述第一通孔的直径；所述二级限位导流阀包括第四阀体、第四中心柱、与所述第四中心柱转动连接的两个第四扇门，以及第四档条，所述第四中心柱与所述第四阀体连接；所述第四档条设置于所述第四阀体，所述第四档条用于阻挡两个所述第四扇门。
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