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申请/专利权人：林君明
摘要：本申请提供一种互连结构及一种用于形成互连结构的方法。所述互连结构包括第一金属线路、在所述第一金属线路上方的第一层间介电ILD层、在所述第一金属线路上方的第一导电特征件，其中所述第一导电特征件的至少一部分被所述第一层间介电ILD层横向围绕，且所述第一导电特征件的侧壁具有锯齿轮廓。
主权项：1.一种互连结构，其包含：第一金属线路；第一层间介电层，其在所述第一金属线路上方；第一导电特征件，在所述第一金属线路上方，其中所述第一导电特征件的至少一部分由所述第一层间介电层横向围绕，所述第一导电特征件的侧壁具有锯齿轮廓，且所述第一导电特征件的所述侧壁中远离所述第一金属线路的顶部侧壁完全由所述第一层间介电层横向围绕，其中所述第一导电特征件包含：沿垂直方向延伸的主要部分；及复数个次要部分，其远离所述主要部分延伸并形成所述锯齿轮廓，其中所述主要部分的顶面与所述复数个次要部分中的第一次要部份的顶面齐平。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 林君明 互连结构及其制造方法
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