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申请/专利权人：清华大学深圳国际研究生院
摘要：一种气体传感器响应时间的快速测量装置，包括多个气腔，多个气腔之间通过选择装置连接，所述选择装置包括传感器腔、可控开关及测试接口，待测传感器放置在所述传感器腔中，并通过所述测试接口连接外部测量电路；所述传感器腔与多个气腔连接，并由所述可控开关控制与各个气腔的连接通道的开闭，测量时先对各个腔体通入设定参数的气体并达到气体参数稳定，再通过选择所述可控开关的开闭来选择所述传感器腔与不同的气腔连接，以快速测量出待测传感器在不同气体参数下的响应。本发明的装置能够提高气体传感器的响应时间测试的稳定性和准确性，并且测试效率高。
主权项：1.一种气体传感器响应时间的快速测量装置，其特征在于，包括多个气腔，多个气腔之间通过选择装置连接，所述选择装置包括传感器腔、可控开关及测试接口，待测传感器放置在所述传感器腔中，并通过所述测试接口连接外部测量电路；所述传感器腔与多个气腔连接，并由所述可控开关控制与各个气腔的连接通道的开闭，测量时先对各个腔体通入设定参数的气体并达到气体参数稳定，再通过选择所述可控开关的开闭来选择所述传感器腔与不同的气腔连接，以快速测量出待测传感器在不同气体参数下的响应；还包括与所述多个气腔相连的配气装置，所述配气装置包括多个质量流量控制器及混气装置，不同参数的气体由所述质量流量控制器控制输入，经过所述混气装置混合后得到预定参数的气体，再输入相应的气腔；所述配气装置还包括加湿装置，在需要加湿的情况下，气体通过所述加湿装置加湿，接着通过所述质量流量控制器，产生所需湿度的气体；所述配气装置还包括加热装置，在需要加热的情况下，气体通过所述加热装置加热，接着通过所述质量流量控制器，产生所需温度的气体。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 清华大学深圳国际研究生院 一种气体传感器响应时间的快速测量装置
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