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申请/专利权人：北京华卓精科科技股份有限公司
摘要：本发明涉及光学系统技术领域，提供一种三自由度读数头、光栅干涉仪及位移测量系统，该三自由度读数头包括：分光组件和导光组件。该三自由度读数头借助于分光组件，将第一信号光分为五路第一光束，将第二信号光分为五路第二光束，结构简单，成本较低。借助于分光组件和导光组件，具有三个自由度，可以从三个维度对因光栅位移而引起的干涉信号的变化情况进行采集，进而可以为从三个维度对光栅进行位移测量提供依据。如此，该三自由度读数头可以适用于对二维光栅的三自由度位移的准确测量，且由于第一路第一光束与第一路第二光束经导光组件在预设水平面内混合输出，可以用于作为补偿信号，以补偿光信号传输过程中产生的误差。
主权项：1.一种三自由度读数头，其特征在于，包括：分光组件和导光组件；第一信号光经所述分光组件，产生五路第一光束；第二信号光经所述分光组件，产生五路第二光束；第一路第一光束与第一路第二光束经所述导光组件在预设水平面内混合输出；第二路第一光束、第三路第一光束、第四路第一光束和第五路第一光束均经所述导光组件入射至光栅上；所述第二路第一光束对应的衍射光和所述第三路第一光束对应的衍射光，分别与第二路第二光束和第三路第二光束经所述导光组件在所述预设水平面内混合输出；所述第四路第一光束对应的衍射光和所述第五路第一光束对应的衍射光，分别与第四路第二光束和第五路第二光束经所述导光组件在预设竖直平面内混合输出。
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百度查询： 北京华卓精科科技股份有限公司 三自由度读数头、光栅干涉仪及位移测量系统
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