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申请/专利权人：君原电子科技(海宁)有限公司

摘要：本发明公开了一种高性能氧化铝复合陶瓷的制备方法，属于静电卡盘陶瓷板制备技术领域，包括：粉体预处理：将纳米碳化硅粉体进行处理再在卧式球磨机中进行预分散，加入分散剂，纳米氧化铝粉进行分散；经过处理后的粉体需要测试出其它物质含量；其中粉体预处理中的碳化硅的含量占比为0～10wt％，氧化铝的含量占比为90～100wt％；溶胶：先加甲苯、异丙醇和可塑剂于气动溶胶机内，缓慢均匀的搅拌，再加入PVB树脂粉，搅拌形成PVB胶体；分散：先称量一定量的球只、甲苯和正丁醇混合溶剂于搅拌磨中，打开搅拌开关搅拌1～4h；混合：转移搅拌磨中的氧化铝和碳化硅浆料于滚筒球磨机中，加入的PVB胶体，搅拌；真空脱泡后进行成型和烧结。

主权项：1.一种高性能氧化铝复合陶瓷的制备方法，其特征在于，所述制备方法包括：粉体预处理：将纳米碳化硅粉体进行处理再在卧式球磨机中进行预分散，加入分散剂，以破坏粉体中的硬团聚、软团聚，使其分散均匀，纳米氧化铝粉进行分散；经过处理后的粉体需要测试出其它物质含量，其他物质中，表面金属杂质的含量小于100ppm；其中粉体预处理中的碳化硅的含量占比为0～10wt％，氧化铝的含量占比为90～100wt％；溶胶：先加入0～60份甲苯、0～20份异丙醇和1～5份可塑剂于气动溶胶机内，缓慢均匀的搅拌5～20min，然后率多次少量缓慢加入30～50份PVB树脂粉，高速搅拌2～4h，保证PVB树脂粉均匀和充分溶解，形成PVB胶体；分散：先称量一定量的球只、甲苯和正丁醇混合溶剂于搅拌磨中，甲苯和正丁醇的比例为3:1～1:1，然后将预处理的纳米碳化硅和纳米氧化铝粉和添加剂依次加入，打开搅拌开关搅拌1～4h；混合：转移搅拌磨中的氧化铝和碳化硅浆料于滚筒球磨机中，依据配方加入一定量的PVB胶体，以一定的搅拌速率运行24h；真空脱泡：将滚筒球磨机中的浆料用N2气压送入脱泡罐中，测量出浆的粘度和对应的环境温度，根据浆料粘度和温度设定水浴温度，设置合适的脱泡真空度和时间，浆料经过有效脱泡后，陈腐一段时间以备用；成型和烧结：设置刮刀刀高为0.3～0.6mm，流延的速度为0～300mmmin，依据环境设置温度和进出风通量，流延成型机的干燥区温度设置在0～100℃，根据碳化硅粉体种类，浆料通过流延成型后得到灰黑或灰白色或绿色的流延生坯，再裁切、打孔、印刷、叠层和等静压二次成型后得到块状生坯，最后排胶烧结。

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