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申请/专利权人：ASML荷兰有限公司
摘要：公开了一种通过训练第二模型来更新第一模型的方法，第一模型与第一工艺范围相关，并且使用与第一结构集相关的第一测量信号集来训练。该方法包括：获得第二测量信号集，该第二测量信号集与包括所述第一结构集或其子集的第二结构集相关；以及使用所述第二测量信号集和感兴趣的参数的对应的参考值作为训练数据来训练第二模型。训练包括根据第二模型优化成本函数，同时约束第二模型从第一测量信号集推断感兴趣的参数的值。
主权项：1.一种训练或配置第二模型以从一个或多个测量信号推断感兴趣的参数的方法，所述第二模型包括第一模型的更新，所述第一模型与第一工艺范围相关，并且已经使用与已经在第一时间段中曝光的第一结构集相关的第一测量信号集而被训练；所述方法包括：获得第二测量信号集，所述第二测量信号集与第二结构集相关，所述第二结构集包括所述第一结构集的子集以及附加结构，所述附加结构在不同于所述第一时间段的第二时间段中由与所述第一结构集相同的工艺和或在相同的装置上曝光；以及使用所述第二测量信号集和所述感兴趣的参数的对应的参考值作为训练数据，来训练或配置所述第二模型，使得所述第二模型与第二工艺范围相关，其中所述第一工艺范围是所述第二工艺范围的子范围；其中所述训练包括依据所述第二模型优化成本函数，同时约束所述第二模型，以从来自所述第一结构集的第一测量信号集中推断出所述感兴趣的参数的值，所述值与使用所述第一模型从所述第一测量信号集中推断出的所述感兴趣的参数的值相差不超过阈值余量。
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