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申请/专利权人：先导薄膜材料(广东)有限公司
摘要：本发明属于半导体靶材技术领域，公开了一种氧化锡锌陶瓷靶材的制备方法，包含如下步骤：先将二氧化锡粉末、氧化锌粉末混合后，加入纯水、分散剂、粘结剂再混合、搅拌，研磨，得到混合浆料；再将混合浆料经喷雾干燥、均质后，得到氧化锡锌粉末；然后将氧化锡锌粉末进行模压、冷等静压成型，得到氧化锡锌靶坯；将氧化锡锌靶坯进行高温烧结后，得到氧化锡锌靶材；最后将氧化锡锌靶材装入模具，封口、脱气、热等静压处理，去除模具后得到氧化锡锌陶瓷靶材；此外，本申请还公开了一种氧化锡锌陶瓷靶材，通过上述制备方法制得。
主权项：1.一种氧化锡锌陶瓷靶材的制备方法，其特征在于，所述制备方法包含如下步骤：步骤1：将二氧化锡粉末、氧化锌粉末混合后，加入纯水、分散剂、粘结剂混合、搅拌，研磨，得到混合浆料；步骤2：将混合浆料经喷雾干燥、均质后，得到氧化锡锌粉末；步骤3：将氧化锡锌粉末进行模压、冷等静压成型，得到氧化锡锌靶坯；步骤4：将氧化锡锌靶坯进行高温烧结后，得到氧化锡锌靶材；步骤5：将氧化锡锌靶材装入模具，封口、脱气、热等静压处理，去除模具后得到氧化锡锌陶瓷靶材；其中，所述步骤1中二氧化锡粉末与氧化锌粉末的质量比为90～95：5～10；所述步骤2中氧化锡锌粉末的粒径D50为0.5～2μm。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 先导薄膜材料(广东)有限公司 一种氧化锡锌陶瓷靶材及其制备方法
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