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申请/专利权人：先导薄膜材料(广东)有限公司
摘要：本发明属于靶材制备领域，公开了一种钡掺杂氧化铟锡锌靶材的制备方法。包括以下步骤：称取粉末；将氧化锌粉末、氧化锡粉末和第一分散剂倒入盛有纯水的容器中制备浆料一；将氧化钡粉末和第二分散剂加入浆料一中制备浆料二；将氧化铟粉末和第三分散剂加入浆料二制备浆料三；向浆料三中加入粘结剂制备浆料四；以浆料四为原料进行喷雾造粒，得钡掺杂氧化铟锡锌粉末；以钡掺杂氧化铟锡锌粉末为原料进行压制成型，得靶坯；将靶坯依次进行脱脂热处理、烧结热处理，得钡掺杂氧化铟锡锌靶材。本申请创造性的进行钡元素掺杂，加强了晶胞中金属元素和氧元素的结合，减少靶材中缺陷的产生，降低靶材电阻。
主权项：1.一种钡掺杂氧化铟锡锌靶材的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：（1）按质量比84~92.5：5~10：0.5~2：2~4称取氧化铟粉末、氧化锡粉末、氧化锌粉末、氧化钡粉末；（2）将氧化锌粉末、氧化锡粉末和第一分散剂倒入盛有纯水的容器中，分散均匀后，经过湿法研磨得到浆料一；（3）将氧化钡粉末和第二分散剂加入浆料一，分散均匀后，经过湿法研磨得到浆料二；（4）将氧化铟粉末和第三分散剂加入浆料二，分散均匀后，经过湿法研磨得到浆料三；（5）向浆料三中加入粘结剂，分散均匀后，经过湿法研磨得到浆料四；（6）以浆料四为原料进行喷雾造粒，得到钡掺杂氧化铟锡锌粉末；（7）以钡掺杂氧化铟锡锌粉末为原料进行压制成型，得到钡掺杂氧化铟锡锌靶坯；（8）将钡掺杂氧化铟锡锌靶坯依次进行脱脂热处理、烧结热处理，得钡掺杂氧化铟锡锌靶材。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 先导薄膜材料(广东)有限公司 一种钡掺杂氧化铟锡锌靶材及其制备方法
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