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申请/专利权人：先导薄膜材料(广东)有限公司
摘要：本申请属于靶材制备技术领域，公开了一种氧化锌靶材的制备方法，该方案先将氧化锌粉末、氧化铝粉末、氧化镓粉末混合，喷雾造粒，得到粉体，再将制得的粉体进行一次热压烧结，二次热压烧结随后降温降压，得到氧化锌靶材，其中在一次热压烧结过程中，温度为400～600℃，压力为2～4MPa，在二次热压烧结过程中，温度为1200～1300℃，压力为20～30MPa，本申请通过热压烧结的方式，能够有效地降低靶材的晶体生长所需温度，进而降低氧化锌靶材的烧结温度，从而减少铝酸锌的生成，进而降低电导率的减少，此外，本申请还公开了一种氧化锌靶材。
主权项：1.一种氧化锌靶材的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤1：将氧化锌粉末、氧化铝粉末、氧化镓粉末混合，喷雾造粒，得到粉体；步骤2：将步骤1制得的粉体进行一次热压烧结，二次热压烧结随后降温降压，得到氧化锌靶材；所述一次热压烧结过程中，温度为400～600℃，压力为2～4MPa；所述二次热压烧结过程中，温度为1200～1300℃，压力为20～30MPa。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 先导薄膜材料(广东)有限公司 一种氧化锌靶材及其制备方法
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