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申请/专利权人：光洋应用材料科技股份有限公司
摘要：本发明提供一种镍铂合金靶材及其制法。所述镍铂合金靶材包含镍及铂并具有以下特性：一硬度指标，其数值以H表示且H大于或等于100且小于或等于150；一铂原子的含量，以所述镍铂合金靶材的总原子数为基准，所述铂原子的含量大于或等于1％且小于或等于20％，其单位以％表示时的数值为X；一平均晶粒粒径，其单位以微米表示时的数值为Y；以及一晶粒粒径变异量，其单位以％表示时的数值为Z；H、X、Y及Z满足式I：式I：H＝10000×X÷Z110÷Y；通过前述技术手段，能确保本发明的镍铂合金靶材具有合适硬度范围而提升其可加工性，获得质量优良的镍铂合金靶材。
主权项：1.一种镍铂合金靶材，其包含镍以及铂；其中所述镍铂合金靶材具有以下特性：一硬度指标，所述硬度指标的数值以H表示，H大于或等于100且小于或等于150；一铂原子的含量，以所述镍铂合金靶材的总原子数为基准，所述铂原子的含量大于或等于1百分比且小于或等于20百分比，其单位以百分比表示时的数值为X；一平均晶粒粒径，其单位以微米表示时的数值为Y；以及一晶粒粒径变异量，所述晶粒粒径变异量小于15％，其单位以百分比表示时的数值为Z，且所述晶粒粒径变异量为晶粒粒径的标准偏差除以平均晶粒粒径所计算而得的百分比；其中，H、X、Y及Z满足以下式I：式I：H＝10000×X÷Z110÷Y。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 光洋应用材料科技股份有限公司 镍铂合金靶材及其制法
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