买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

申请/专利权人：苏州创视智能技术有限公司

摘要：本发明公开了一种线扫描光谱共焦系统测试标定装置及方法，将线扫描光谱共焦测头设置在测头固定架上，台阶标定样片固定在二维精密平移台上并通过六维姿态调整台调节其空间姿态，由运动控制器驱动台阶标定样片进行二维平面扫描运动完成线扫描光谱共焦系统标定，通过微处器理应用波峰提取算法可实现纵向谱峰的亚像素定位。该方法提出了针对结构复杂的线扫描光谱共焦系统的标定方法，具有标定装置简单、操作方便、标定精度达纳米级、适用于各类量程和线长的线扫描光谱共焦系统等优点。

主权项：1.一种线扫描光谱共焦系统测试标定方法，其特征在于，包括以下步骤：S1:安装标定样片到样片夹具上，并一同固定到二维精密平移台上，连接运动控制器，再将二维精密平移台设置在六维姿态调整台上；所述标定样片为台阶标定样片；S2:将线扫描光谱共焦测头安装在测头固定架上，连接信号采集系统和微处理器，通过观察反射光谱位置信号，使用运动控制器调节二维精密平移台使标定样片的中心位置处于线扫描光谱共焦测头的中心量程和共焦线中点位置；S3:使用六维姿态调整台调节标定样片沿Y方向做直线运动，根据实时采集的反射光谱位置信号，观察产生的共焦线上的位置突变信号，逐步调节六维姿态调整台沿Z轴向转动，使得标定样片沿Y方向的直线运动不再改变共焦线上突变信号的位置，完成标定样片的Z轴向转动姿态校准；以测头的共焦线和共焦面为参考基准，X方向与共焦线方向平行，Y方向垂直于共焦面，Z方向位于共焦面内与X方向垂直；S4:使用六维姿态调整台调节标定样片的X方向位置，使得共焦线全部处于标定样片的下表面上，逐步调节六维姿态调整台沿Y轴向转动，使得共焦线上的反射光谱位置信号以共焦线中点为中心呈对称分布，完成标定样片的Y轴向转动姿态校准；S5:观察共焦线的反射光谱位置信号，逐步调节六维姿态调整台沿X轴向转动，使得共焦线上各处的反射信号最强，完成标定样片的X轴向转动姿态校准；S6:由运动控制器驱动二维精密平移台，从量程起点位置处开始沿Z向进行等间距扫描运动，记录各位置对应的反射光谱位置信号，对Z向运动位移数据与Z向光谱位置数据进行多项式拟合，完成线扫描光谱共焦系统Z向标定；S7:由运动控制器驱动二维精密平移台沿X向进行扫描运动，以第一个获得标定样片上表面准确位置值的共焦点为起点，使线扫描光谱共焦测头的共焦线从标定样片的下表面逐步移动到上表面，记录X向运动位移数据和X向光谱位置数据进行多项式拟合，完成线扫描光谱共焦系统X向标定。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 苏州创视智能技术有限公司 一种线扫描光谱共焦系统测试标定装置及方法