恭喜因普利亚公司约瑟夫·B·埃德森获国家专利权
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龙图腾网恭喜因普利亚公司申请的专利具有低的多烷基污染的单烷基锡化合物、其组合物和方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN112088335B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-14发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：201980020757.8，技术领域涉及：G03F7/004；该发明授权具有低的多烷基污染的单烷基锡化合物、其组合物和方法是由约瑟夫·B·埃德森;托马斯·J·兰金;威廉·艾利;杜鲁门·曼巴赫;杰瑞米·T·安德森设计研发完成，并于2019-03-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本具有低的多烷基污染的单烷基锡化合物、其组合物和方法在说明书摘要公布了：纯组合物包含由化学式RSnOR’3表示的单烷基锡三烷氧化物化合物或由化学式RSnNR’23表示的单烷基锡三胺基化物化合物，和相对于总锡量计不超过4摩尔％的二烷基锡化合物，其中R为具有1至31个碳原子的烃基，并且其中R’为具有1至10个碳原子的烃基。描述了用于形成该纯组合物的方法。固体组合物包含由化学式RSn‑NR’COR”3表示的单烷基三酰胺基锡化合物，其中R为具有1至31个碳原子的烃基，并且其中R’和R”独立地为具有1至10个碳原子的烃基。所述组合物适合于形成适用于EUV图案化的抗蚀剂组合物，其中所述组合物具有高EUV吸收。
本发明授权具有低的多烷基污染的单烷基锡化合物、其组合物和方法在权利要求书中公布了：1.一种高纯度液体组合物，所述高纯度液体组合物包含：由化学式RSnNR’23表示的单烷基锡三胺基化物化合物，和相对于总锡量计不超过0.5摩尔%的作为杂质的二烷基锡化合物，其中R为具有1至31个碳原子的烃基，并且其中R’为具有1至10个碳原子的烃基。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人因普利亚公司，其通讯地址为：美国俄勒冈州；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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