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恭喜东京毅力科创株式会社山下阳平获国家专利权

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龙图腾网恭喜东京毅力科创株式会社申请的专利基板处理方法和基板处理装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114830295B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-10发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202080087508.3,技术领域涉及:H01L21/02;该发明授权基板处理方法和基板处理装置是由山下阳平;田之上隼斗;沟本康隆设计研发完成,并于2020-12-09向国家知识产权局提交的专利申请。

基板处理方法和基板处理装置在说明书摘要公布了:一种方法,用于在将第一基板与第二基板接合而成的重合基板中将形成于所述第二基板的表面的器件层转印于所述第一基板,在所述方法中,从所述第二基板的背面侧对形成于该第二基板与所述器件层之间的激光吸收层脉冲状地照射激光。

本发明授权基板处理方法和基板处理装置在权利要求书中公布了:1.一种基板处理方法,是在将第一基板与第二基板接合而成的重合基板中将形成于所述第二基板的表面的器件层转印于所述第一基板的基板处理方法,在所述基板处理方法中,从所述第二基板的背面侧对形成于所述第二基板与所述器件层之间的激光吸收层脉冲状地照射激光,在所述激光吸收层的外周部,一边使所述重合基板旋转一边照射所述激光,在处于所述外周部的径向内侧的中央部,在使所述重合基板的旋转停止了的状态下使所述激光进行扫描。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人东京毅力科创株式会社,其通讯地址为:日本东京都;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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