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龙图腾网恭喜北京烁科中科信电子装备有限公司申请的专利一种消除电极电荷积累的方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN112670149B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-24发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：201910981013.4，技术领域涉及：H01J37/317；该发明授权一种消除电极电荷积累的方法是由金洲设计研发完成，并于2019-10-15向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种消除电极电荷积累的方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种消除电极电荷积累的方法，用恒流电源不断提供的电荷来中和电极积累的异性电荷，保证电极的电位稳定。本方法涉及离子注入机，属于半导体器件制造领域。高压电源A1输出直流正电压，提供给电极A2正电位，用于离子束的加速并使其获得能量，高压电阻A4构成回路，恒流电源A5提供的电子7用于中和电极A上所积累的正电荷6，保证电极A上电位的稳定。高压电源B8输出直流负电压，提供给电极B9负电位，用于抑制离子束中电子的发散，高压电阻B9构成回路，恒流电源B11提供的正电荷13用于中和其上所积累的电子12，保证电极B上电位的稳定。

本发明授权一种消除电极电荷积累的方法在权利要求书中公布了：1.一种消除电极电荷积累的方法，其特征在于： 当高压电源A1输出直流正电压时，提供给正电极A2一个正电位，其与地电极C3之间形成一个正电场，用于离子束的加速并使其获得满足工艺要求的初始能量；由于加速后的离子束会轰击到正电极A2上，使电极A上积累正电荷6，会使其上的电位不稳定；高压电阻A4构成回路，恒流电源A5提供的电子7不断地流入正电极A2用于中和其上所积累的正电荷6，保证正电极A2上电位的稳定；其中，正电极A2依次通过高压电阻A4、恒流电源A5与地连接； 当高压电源B8输出直流负电压时，提供给负电极B9一个负电位，其与地电极C3之间形成一个负电场，用于抑制离子束中电子12的发散，在此过程中电子12会轰击到负电极B9上，使负电极B9上积累电子12，会使其上的电位不稳定；高压电阻B10构成回路，恒流电源B10提供的正电荷13不断地流入负电极B9用于中和其上所积累的电子12，保证负电极B9上电位的稳定；其中，负电极B9依次通过高压电阻B10、恒流电源B11与地连接。

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