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龙图腾网获悉鹰港科技有限公司申请的专利精密等离子体控制系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114144860B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-25发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080023885.0，技术领域涉及：H01J37/32；该发明授权精密等离子体控制系统是由迪麦西·津巴;肯尼斯·米勒;詹姆斯·普拉格;凯文·马格利;埃里克·汉森设计研发完成，并于2020-01-31向国家知识产权局提交的专利申请。

本精密等离子体控制系统在说明书摘要公布了：一些实施例包括一种等离子体系统，其包括：等离子体室、RF等离子体发生器、偏置发生器和控制器。所述RF等离子体发生器可以与所述等离子体室电耦合，并且可以产生多个RF突发，所述多个RF突发中的每一个包括RF波形，所述多个RF突发中的每一个具有RF突发开启时间和RF突发关闭时间。所述偏置发生器可以与所述等离子体室电耦合，并且可以产生多个偏置突发，所述多个偏置突发中的每一个包括偏置脉冲，所述多个偏置突发中的每一个具有偏置突发开启时间和偏置突发关闭时间。在一些实施例中，所述控制器与所述RF等离子体发生器和所述偏置发生器进行通信，所述控制器控制各种突发或波形的定时。

本发明授权精密等离子体控制系统在权利要求书中公布了：1.一种等离子体系统，包括： 等离子体室； RF等离子体发生器，其与所述等离子体室电耦合，所述RF等离子体发生器产生多个RF突发，所述多个RF突发中的每一个包括RF波形，所述多个RF突发中的每一个具有RF突发开启时间和RF突发关闭时间； 偏置发生器，其与所述等离子体室电耦合，所述偏置发生器产生多个偏置突发，所述多个偏置突发中的每一个包括偏置脉冲，所述多个偏置突发中的每一个具有偏置突发开启时间和偏置突发关闭时间；和 控制器，其与所述RF等离子体发生器和所述偏置发生器进行通信，所述控制器根据以下方法控制所述RF突发开启时间、所述RF突发关闭时间、所述偏置突发开启时间和所述偏置突发关闭时间的定时： 用具有大于10MHz的频率的所述RF等离子体发生器驱动所述等离子体室； 暂停达第一时间段； 以大于1kHz的脉冲重复频率用具有第一电压的脉冲通过所述偏置发生器使所述等离子体室发生脉冲； 暂停达第二时间段； 停止驱动所述RF等离子体发生器； 暂停达第三时间段；以及 停止所述偏置发生器发生脉冲。

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