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基于Fick扩散定律的微型氯离子传感器 

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申请/专利权人:南京航空航天大学

摘要:本实用新型公开了一种基于Fick扩散定律的微型氯离子传感器,包含聚酰亚胺薄片基板、辅助电极、感受电极、参比电极和对电极,相互不接触;辅助电极、感受电极、参比电极、对电极均包含敏感元、导线、以及通过导线和敏感元相连的焊点;感受电极的敏感元放置在辅助电极敏感元的凹槽内;辅助电极、感受电极、参比电极的敏感元从下至上均包含Ti粘附层、Pt电极层和Au薄膜层;对电极的敏感元从下至上包含Ti粘附层和Pt电极层;辅助电极、感受电极、参比电极的敏感元上镀有Ag薄膜层,且Ag薄膜层上镀有AgCl薄膜层。本实用新型体积小、结构稳定性好、可靠性高、密封性好,能够应用于飞行器盐雾腐蚀与防护,提高飞行器使用寿命。

主权项:1.基于Fick扩散定律的微型氯离子传感器,其特征在于,包含聚酰亚胺薄片基板、辅助电极、感受电极、参比电极和对电极;所述辅助电极、感受电极、参比电极、对电极均设置在所述聚酰亚胺薄片基板上,均包含敏感元、导线、以及通过导线和敏感元相连的焊点;所述感受电极的敏感元呈叉指状;所述辅助电极的敏感元呈矩形,其上设有用于放置感受电极敏感元的凹槽;所述感受电极的敏感元放置在辅助电极敏感元的凹槽内;所述参比电极、对电极的敏感元均呈长条状,分别设置在所述辅助电极敏感元两侧、和辅助电极敏感元两侧的边平行,且和感受单机敏感元的叉指长度方向垂直;所述辅助电极的敏感元、感受电极的敏感元、参比电极的敏感元从下至上均包含Ti粘附层、Pt电极层和Au薄膜层;所述对电极的敏感元从下至上包含Ti粘附层和Pt电极层;所述辅助电极的敏感元、感受电极的敏感元、参比电极的敏感元上镀有Ag薄膜层,且Ag薄膜层上镀有AgCl薄膜层;所述辅助电极、感受电极、参比电极、对电极之间均不接触。

全文数据:

权利要求:

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