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申请/专利权人：菲尼萨公司
摘要：一种VCSEL，该VSCEL可以包括：椭圆形孔口，该椭圆形孔口位于定位在有源区域与发射表面之间的氧化区域中的椭圆形氧化物孔口，该椭圆形孔口具有半径比短半径长半径在0.6与0.8之间的短半径和长半径，VCSEL具有小于‑140dBHz的相对强度噪声RIN。VCSEL可以包括椭圆形发射孔口，该椭圆形发射孔口具有与椭圆形氧化物孔口相同的尺寸。VCSEL可以包括椭圆形接触件，椭圆形接触件具有位于其中的椭圆形接触件孔口，该椭圆形接触件围绕椭圆形发射孔口。椭圆形接触件可以是C形的。VCSEL可以包括位于氧化区域侧向的一个或更多个沟槽，所述一个或更多个沟槽形成为椭圆形形状，其中，氧化区域具有椭圆形形状。所述一个或更多个沟槽可以是梯形形状的沟槽。
主权项：1.一种VCSEL，包括：椭圆形氧化物孔口，所述椭圆形氧化物孔口位于定位在有源区域与发射表面之间的氧化区域中，所述椭圆形孔口具有半径比短半径长半径在0.6与0.8之间的短半径和长半径，所述VCSEL具有小于-140dBHz的相对强度噪声RIN。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 菲尼萨公司 具有降低的RIN的带有椭圆形孔口的VCSEL
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