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申请/专利权人：费勉仪器科技(上海)有限公司
申请日：2022-03-18
公开（公告）日：2022-09-09
公开（公告）号：CN217398987U
专利技术分类：..在反应室中支承基体的方法[2006.01]
专利摘要：本公开提供了一种CVD样品台及CVD系统，CVD样品台包括：基座，包括安装结构；停放台，与基座固定连接，或一体成型，停放台包括：停放台主体；至少一个停放结构，设置在停放台主体上，用于停放样品。
专利权项：1.一种CVD样品台，其特征在于，包括：基座，包括安装结构；停放台，与所述基座固定连接，或一体成型，所述停放台包括：停放台主体；至少一个停放结构，设置在所述停放台主体上，用于停放样品。
百度查询： 费勉仪器科技(上海)有限公司 CVD样品台及CVD系统
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