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用于WLCSP芯片封切后的表面缺陷检测方法及系统 

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申请/专利权人:上海晨兴希姆通电子科技有限公司

摘要:本发明涉及一种用于WLCSP芯片封切后的表面缺陷检测方法及系统,该检测方法包括步骤:提供WLCSP芯片封测切割后的原始图像;对所述原始图像进行快速傅里叶优化速度,构建高斯滤波器并生成滤波核;对所述原始图像进行取反操作,然后转化为第一频域图像;将所述第一频域图像和所述滤波核进行卷积计算,生成第二频域图像;将所述第二频域图像转化为空间域图像,对所述空间域图像进行中值滤波和或高斯平滑;通过阈值分割缺陷区域,对所述缺陷区域进行凸显处理,然后过滤出缺陷。本发明解决了传统缺陷检测方法存在对轻微缺陷漏判、误判的问题。

主权项:1.一种用于WLCSP芯片封切后的表面缺陷检测方法,其特征在于,包括步骤:提供WLCSP芯片封测切割后的原始图像;对所述原始图像进行快速傅里叶优化速度,构建高斯滤波器并生成滤波核;对所述原始图像进行取反操作,然后转化为第一频域图像;将所述第一频域图像和所述滤波核进行卷积计算,生成第二频域图像;将所述第二频域图像转化为空间域图像,对所述空间域图像进行中值滤波和或高斯平滑;通过阈值分割缺陷区域,对所述缺陷区域进行凸显处理,然后过滤出缺陷。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 上海晨兴希姆通电子科技有限公司 用于WLCSP芯片封切后的表面缺陷检测方法及系统

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