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申请/专利权人：浙江灵析精仪科技发展有限公司;浙江灵析光电技术有限公司;聚光科技(杭州)股份有限公司;北京华云东方探测技术有限公司
申请日：2023-11-27
公开（公告）日：2024-02-27
公开（公告）号：CN117607099A
主分类号：G01N21/39
分类号：G01N21/39;G01N21/01
优先权：
专利状态码：在审-实质审查的生效
法律状态：2024.03.15#实质审查的生效;2024.02.27#公开
摘要：本发明提供了具有Etalon效应影响消除功能的CRDS系统和方法，所述CRDS系统包括光源、光开关、光反射腔和第一探测器；分束单元用于将光源发出的测量光分为光强度相同的第一光束和第二光束；所述第一光束穿过所述第一反射镜，之后依次在第二反射镜、第三反射镜和第一反射镜上反射，并按此顺序经过多次反射，最后从第二反射镜射出，被所述第一探测器接收；所述第二光束穿过所述第一反射镜，之后依次在第三反射镜、第二反射镜和第一反射镜上反射，并按此顺序经过多次反射，最后从第二反射镜射出，被第二探测器接收；分析单元用于对第一探测器输出的第一衰荡信号和第二探测器输出的第二衰荡信号求和。本发明具有分辨率高、体积小等优点。
主权项：1.具有Etalon效应影响消除功能的CRDS系统，所述具有Etalon效应影响消除功能的CRDS系统包括光源、光开关、光反射腔和第一探测器；其特征在于，所述具有Etalon效应影响消除功能的CRDS系统还包括：分束单元，所述分束单元用于将所述光源发出的测量光分为光强度相同的第一光束和第二光束，所述第一光束和第二光束是相同偏振态的线偏振光；第一反射镜、第二反射镜和第三反射镜，所述第一反射镜、第二反射镜和第三反射镜设置在所述光反射腔内；所述第一光束穿过所述第一反射镜，之后依次在第二反射镜、第三反射镜和第一反射镜上反射，并按此顺序经过多次反射，最后从第二反射镜射出，被所述第一探测器接收；所述第二光束穿过所述第一反射镜，之后依次在第三反射镜、第二反射镜和第一反射镜上反射，并按此顺序经过多次反射，最后从第二反射镜射出，被第二探测器接收；分析单元，所述分析单元用于对第一探测器输出的第一衰荡信号和第二探测器输出的第二衰荡信号求和。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 浙江灵析精仪科技发展有限公司;浙江灵析光电技术有限公司;聚光科技(杭州)股份有限公司;北京华云东方探测技术有限公司 具有Etalon效应影响消除功能的CRDS系统和方法
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