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申请/专利权人：江苏京创先进电子科技有限公司
摘要：本实用新型揭示了对中调整块、定心机构及晶圆加工设备，其中对中调整块包括本体，所述本体包括顶面和底面，所述本体的底面至少包括第一表面和第二表面，所述第一表面平行于所述顶面，所述第二表面由其与所述第一表面衔接的一侧向顶面方向倾斜设置，所述第一表面的宽度不超过所述第二表面的宽度的13。本实用新型使本体的底部具有第一表面和第二表面，较宽的第二表面采用向上倾斜的斜面，从而在调整时，只有第一表面与膜接触，由于第一表面的宽度较小，能够有效地减少与膜的接触面积，从而减小调整时的摩擦力，大大降低了扯膜的风险。
主权项：1.对中调整块，包括本体，所述本体包括顶面和底面，其特征在于：所述本体的底面至少包括第一表面和第二表面，所述第一表面平行于所述顶面，所述第二表面由其与所述第一表面衔接的一侧向顶面方向倾斜设置，所述第一表面的宽度不超过所述第二表面的宽度的13。
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百度查询： 江苏京创先进电子科技有限公司 对中调整块、定心机构及晶圆加工设备
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