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一种CGM柔性传感器电极及其制备方法 

申请/专利权人:江苏鱼跃凯立特生物科技有限公司;浙江凯立特医疗器械有限公司;南京鱼跃软件技术有限公司;江苏跃凯生物技术有限公司

申请日:2023-12-18

公开(公告)日:2024-03-19

公开(公告)号:CN117720064A

主分类号:B81C1/00

分类号:B81C1/00;A61B5/145;B81B7/02

优先权:

专利状态码:在审-实质审查的生效

法律状态:2024.04.05#实质审查的生效;2024.03.19#公开

摘要:本申请涉及一种CGM柔性传感器电极及其制备方法,属于传感器技术领域。该制备方法包括以下制备步骤:1提供柔性基底,在其表面沉积金属层;2在所述金属层上沉积掩蔽层,经光刻、金属腐蚀形成至少两个单独连续连接的金属导线结构,所述金属导线结构包括电极、迹线和接触垫;3在所述金属导线结构上沉积光敏柔性阻隔膜,经光刻后暴露所述电极;4在暴露的所述电极上沉积导电材料,获得所述CGM柔性传感器电极;其中,步骤3中,沉积光敏柔性阻隔膜后,经至少两段温度烘烤,将所述阻隔膜固化。本申请提供的柔性传感器稳定性和一致性高,具有较好的精度又具有较长的使用寿命。

主权项:1.一种CGM柔性传感器电极的制备方法,其特征在于,所述制备方法包括以下制备步骤:1提供柔性基底,在其表面沉积金属层;2在所述金属层上沉积掩蔽层,经光刻、金属腐蚀形成至少两个单独连续连接的金属导线结构,所述金属导线结构包括电极、迹线和接触垫;3在所述金属导线结构上沉积光敏柔性阻隔膜,经光刻后暴露所述电极;4在暴露的所述电极上沉积导电材料,获得所述CGM柔性传感器电极;其中,所述步骤3中,沉积光敏柔性阻隔膜后,经至少两段温度烘烤,将所述阻隔膜固化。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 江苏鱼跃凯立特生物科技有限公司;浙江凯立特医疗器械有限公司;南京鱼跃软件技术有限公司;江苏跃凯生物技术有限公司 一种CGM柔性传感器电极及其制备方法

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