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申请/专利权人：安徽富乐德科技发展股份有限公司

摘要：本发明涉及OpenMask清洗领域，具体为一种OLED蒸镀工艺OpenMask部件清洗设备，包括清洗箱，所述清洗箱内设置有超声波振板。本发明通过设置承载机构、升降机构、循环管、除垢箱和过滤箱，药水通过承载箱上的过滤网进入到承载箱内，与OpenMask接触，使得openmask部件表面的镀膜脱离，随后通过升降机构，将承载箱向上运动，进入到除垢箱内，在驱动电机的作用下，驱动承载箱进行旋转，在离心力的作用下，使得承载箱内脱离的镀膜通过排水孔排出，由于设置过滤网，使得脱离的镀膜无法穿过承载箱进入到清洗箱内与药水进行混合，而清洗箱内的药水可以自由通过过滤网，避免浸泡时镀膜对药水的污染，从而提高了药水对OpenMask的清洗效果，并且能延长药水的使用周期，节约药水量。

主权项：1.一种OLED蒸镀工艺OpenMask部件清洗设备，包括清洗箱1，所述清洗箱1内设置有超声波振板2，其特征在于：所述清洗箱1顶端固定连接有除垢箱3，所述除垢箱3顶端固定连接有过滤箱4，所述清洗箱1内设置有承载OpenMask承载机构；所述承载机构包括带有密封门的承载箱5，所述承载箱5表面的漏槽侧壁均固定连接有过滤网6，所述承载箱5表面阵列开设有排水孔7，所述承载箱5表面滑动连接有密封排水孔7的密封块8，所述密封块8与承载箱5表面平行，所述承载箱5顶端固定连接有密封台9，所述密封台9顶端贯穿清洗箱1顶端后与清洗箱1顶端滑动连接，所述密封块8顶端固定连接有推动杆10，所述推动杆10顶端贯穿密封台9后与密封台9滑动连接，数个所述推动杆10顶端共同固定连接有环形架11，所述推动杆10表面均套接有复位弹簧12，所述复位弹簧12两端分别固定连接在环形架11和密封台9上，所述密封台9顶端固定连接有插座13，过滤箱4顶端固定连接有驱动电机14，所述驱动电机14的输出轴底端贯穿除垢箱3后与除垢箱3顶端转动连接，所述驱动电机14的输出轴底端固定连接有和插座13相适配的驱动杆15，所述除垢箱3内侧壁顶端固定连接有和环形架11适配的环形座16，所述承载箱5底端和清洗箱1外侧共同设置有升降机构；所述除垢箱3底端对称固定联通有循环管17，所述循环管17顶端贯穿过滤箱4后与过滤箱4固定联通，所述循环管17均外设水泵固定连接，所述过滤箱4顶端设置有过滤机构，所述过滤箱4内底端开设有进水孔18；所述清洗箱1侧壁固定联通有加料管19，所述过滤箱4侧壁固定联通有排水管20。

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