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申请/专利权人：扬州茂德电子科技有限公司
摘要：本发明属于RPS等离子源技术领域，具体的说是一种RPS等离子源的检测装置，包括真空组件、压控组件、真空管路、气路组件、水路组件、控制系统、移动组件；所述移动组件由国标Xmm碳钢方管焊接而成，上表面焊接碳钢钢板，下部安装活动轮，侧部安装扶手，可人为操作自由移动，架体整体喷塑处理；利用检测台侧壁上开设的一号滑槽，可以在需要对检测台位置进行定位时，通过按压按压杆带动吸盘和地面接触产生吸附性效果，从而增加检测台和地面之间的固定效果，减少检测台底部万向轮和瓷砖之间出现的滑动情况，增加设备稳定性。
主权项：1.一种RPS等离子源的检测装置，包括真空组件、压控组件、真空管路、气路组件、水路组件、控制系统、移动组件；其特征在于：所述移动组件由国标40X40mm碳钢方管焊接而成，上表面焊接碳钢钢板，下部安装活动轮，侧部安装扶手，可人为操作自由移动，架体整体喷塑处理；架体内部集成真空组件、压控组件、气路和水路组件及电气控制系统；RPS源检测口为KF50接口，同时可转接KF40；控制系统配置工控机，显示器安装在架体上台面，氦质朴检漏仪为独立移动式本检测台架体不留安放位置；控制系统对真空度、气体流量、电源功率等参数可在安全范围任意设定；与RPS源连接的真空管路为水冷结构；设备预留14inchVCR接头与RPS源气路连接，设备柜门处预留208V、440V两种30KW电源接口。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 扬州茂德电子科技有限公司 一种RPS等离子源的检测装置
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