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申请/专利权人：泉意光罩光电科技(济南)有限公司
摘要：本申请提供一种雷射修补设备及光罩生产系统，涉及光罩加工技术领域。该雷射修补设备包括：基座、设置在基座上的承载台、激光源和吸附组件，承载台用于固定光罩，激光源用于向光罩上的异物出射激光，吸附组件用于吸附激光源轰击异物产生的残渣。该雷射修补设备采用激光源向光罩上的异物发射激光将异物击碎，再利用吸附组件将轰击过程中产生的残渣吸走，从而防止残渣粘附在光罩的表面，无需反复修正和重新清洗，有效缩短了光罩的制作周期。
主权项：1.一种雷射修补设备，其特征在于，包括：基座、设置在所述基座上的承载台、激光源和吸附组件，所述承载台用于固定光罩，所述激光源用于向所述光罩上的异物出射激光，所述吸附组件用于吸附所述激光源轰击所述异物产生的残渣。
全文数据：
权利要求：
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