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申请/专利权人:上海工具厂有限公司;上海理工大学
摘要:本发明属于涂层制备技术领域,提供了一种CrNZrYN纳米多层膜涂层及其制备方法。本发明的CrNZrYN纳米多层膜涂层,包括交替层叠设置的CrN涂层和ZrYN涂层。本发明在ZrN涂层中,掺杂Y,使CrNZrYN纳米多层膜涂层同时具备高硬度和高韧性。其中ZrYN涂层的厚度能够影响CrNZrYN纳米多层膜涂层的韧性和硬度。本发明还提供了CrNZrYN纳米多层膜涂层的制备方法,本发明的制备方法操作简单,成本低,易于工业化。进一步地,本发明通过控制第一磁控溅射和第二磁控溅射的参数,强化薄膜的同时使裂纹扩展受到抑制,提高CrN涂层和ZrYN的结合强度,使得最终所得膜层的硬度和韧性同时提升。
主权项:1.一种CrNZrYN纳米多层膜涂层,其特征在于,包括交替层叠设置的CrN涂层和ZrYN涂层。
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百度查询: 上海工具厂有限公司 上海理工大学 一种CrN/ZrYN纳米多层膜涂层及其制备方法
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