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申请/专利权人：旭化成株式会社
摘要：本发明涉及聚酰亚胺固化膜以及显示低介电损耗角正切、介电损耗角正切的频率依赖性少、热失重温度高的聚酰亚胺固化膜的制造方法。该方法包括：工序1，将包含聚酰亚胺前体的感光性树脂组合物涂布在基板上，在该基板上形成感光性树脂层；工序2，将所得感光性树脂层进行干燥加热；工序3，对所得感光性树脂层进行曝光；工序4，对所得感光性树脂层进行显影；工序5，以150℃～250℃对残留在该基板上的感光性树脂层进行加热处理，形成固化膜，工序2和或5在50托以上且580托以下的压力下实施，在所得聚酰亚胺固化膜的聚酰亚胺中，相对于包含源自四羧酸与二胺的结构的重复单元的分子量，酰亚胺基所占的比例即酰亚胺基浓度为12wt％～30wt％。
主权项：1.一种再布线用层间绝缘膜形成用聚酰亚胺固化膜，其通过摄动方式分裂圆柱谐振器法在频率10GHz下进行测定时的介电损耗角正切为0.001～0.009，所述聚酰亚胺具有下述通式10所示的结构， 式10中，R21和R22各自独立地为氢原子或碳原子数1～6的1价有机基团，并且，*表示连接部，其中，所述聚酰亚胺固化膜满足下述数学式i：0.001tanδ40-tanδ10tanδ100.2i式i中，tanδ40是基于摄动方式分裂圆柱谐振器法在频率40GHz下的介电损耗角正切，并且，tanδ10是基于摄动方式分裂圆柱谐振器法在频率10GHz下的介电损耗角正切。
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