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申请/专利权人：核工业理化工程研究院
申请日：2022-11-10
公开（公告）日：2024-05-10
公开（公告）号：CN118010239A
主分类号：G01L21/00
分类号：G01L21/00;G01L9/12;G01L19/00
优先权：
专利状态码：在审-实质审查的生效
法律状态：2024.05.28#实质审查的生效;2024.05.10#公开
摘要：本发明公开了一种绝压型金属薄膜电容式真空计，包括壳体以及安装在所述壳体内部的金属薄膜和绝缘陶瓷；所述绝缘陶瓷上设置有外电容和内电容；所述外电容和内电容的电容信号分别一组通过穿墙组件导出所述壳体；所述穿墙组件包括与所述外电容或内电容相接触的导电弹簧、一端与所述导电弹簧接触，另一端穿过所述壳体的电容引出针和填充在所述壳体与电容引出针缝隙内的玻璃组合物。上述绝压型金属薄膜电容式真空计，选用具有超强密封性能的穿墙组件，在可靠引出电容信号的同时，能够保证其参考腔内的真空度长期保持稳定，从而避免现有真空计明显的“零点漂移”问题。
主权项：1.一种绝压型金属薄膜电容式真空计，其特征在于：包括壳体以及安装在所述壳体内部的金属薄膜和绝缘陶瓷；所述金属薄膜将所述壳体的内腔划分为真空参考腔和工作介质腔；所述绝缘陶瓷固定安装在所述真空参考腔内；所述绝缘陶瓷上设置有外电容和内电容；所述外电容和内电容的电容信号分别一组通过穿墙组件导出所述壳体；所述穿墙组件包括与所述外电容或内电容相接触的导电弹簧以及一端与所述导电弹簧接触，另一端密封穿过所述壳体的电容引出针；所述壳体与电容引出针的缝隙内填充有玻璃组合物。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 核工业理化工程研究院 一种绝压型金属薄膜电容式真空计
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