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具备寿命控制的FCE二极管及制备方法 

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申请/专利权人:江苏芯长征微电子集团股份有限公司

摘要:本发明涉及一种FCE二极管及制备方法,尤其是一种具备寿命控制的FCE二极管及制备方法。按照本发明提供的技术方案,一种具备寿命控制的FCE二极管,所述FCE二极管包括:半导体衬底,呈N导电类型;FCE阴极结构,制备于半导体衬底的背面,至少包括阴极N+区以及阴极P+区,阴极N+区与邻近所述阴极N+区的阴极P+区接触;寿命控制单元,制备于半导体衬底内,至少包括与阴极P+区适配的阴极P+寿命控制区,其中,所述阴极P+寿命控制区仅对所述阴极P+区进行载流子寿命控制调节。本发明可使FCE二极管的导通压降和反向恢复实现更好的折衷,与现有FCE二极管的制备工艺兼容。

主权项:1.一种具备寿命控制的FCE二极管,其特征是,所述FCE二极管包括:半导体衬底,呈N导电类型;FCE阴极结构,制备于半导体衬底的背面,至少包括阴极N+区以及阴极P+区,阴极N+区与邻近所述阴极N+区的阴极P+区接触;寿命控制单元,位于半导体衬底内,至少包括与阴极P+区适配的阴极P+寿命控制区,其中,所述阴极P+寿命控制区仅对所述阴极P+区进行载流子寿命控制调节。

全文数据:

权利要求:

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