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申请/专利权人：中国科学院合肥物质科学研究院
申请日：2024-02-27
公开（公告）日：2024-05-28
公开（公告）号：CN118091191A
主分类号：G01Q60/10
分类号：G01Q60/10;G01Q60/16;G01Q10/02
优先权：
专利状态码：在审-实质审查的生效
法律状态：2024.06.14#实质审查的生效;2024.05.28#公开
摘要：本发明属于扫描隧道显微镜技术领域，尤其涉及双马达驱动独立扫描单元的扫描隧道显微镜和扫描方法。双马达驱动独立扫描单元的扫描隧道显微镜，包括镜体，其特征在于：镜体包括外框架、第一驱动单元、第二驱动单元和扫描单元，所述外框架内部中空，所述第一驱动单元、第二驱动单元分别设置在所述外框架两端的内壁上，所述扫描单元设置在所述外框架的内壁中段，所述第一驱动单元和第二驱动单元驱动所述扫描单元沿着所述外框架长度方向进行粗逼近或退针。本发明能够避免针尖受损与样品形貌结构的改变，同时稳定且高质量的成像。
主权项：1.双马达驱动独立扫描单元的扫描隧道显微镜，包括镜体，其特征在于：镜体包括外框架1、第一驱动单元2、第二驱动单元3和扫描单元4，所述外框架1内部中空，所述第一驱动单元2、第二驱动单元3分别设置在所述外框架1两端的内壁上，所述扫描单元4设置在所述外框架1的内壁中段，所述第一驱动单元2和第二驱动单元3驱动所述扫描单元4沿着所述外框架1长度方向进行粗逼近或退针。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中国科学院合肥物质科学研究院 双马达驱动独立扫描单元的扫描隧道显微镜和扫描方法
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