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申请/专利权人：应用材料公司
申请日：2016-10-27
公开（公告）日：2024-06-04
公开（公告）号：CN118127471A
主分类号：C23C14/35
分类号：C23C14/35;C23C14/54
优先权：["20151027 US 62/246,967"]
专利状态码：在审-实质审查的生效
法律状态：2024.06.21#实质审查的生效;2024.06.04#公开
摘要：在本文描述的一些实施方式中，提供一种可偏压准直器。使所述准直器偏压的能力允许控制溅射物质所穿过的电场。在本公开内容的一些实施方式中，提供了一种具有高有效深宽比，同时维持沿所述准直器的六边形阵列的所述准直器周边的低深宽比的准直器。在一些实施方式中，提供了在六边形阵列中带有陡峭入口边缘的准直器。已经发现，在所述准直器中使用陡峭入口边缘减少了所述六边形阵列的单元的沉积突悬和沉积堵塞。这些各种特征使得膜均匀性得到改善并且延长了所述准直器和工艺配件的寿命。
主权项：1.一种准直器组件，所述准直器包括：准直器部分，所述准直器部分包括：第一表面和相对的第二表面，所述第二表面远离所述第一表面，所述第二表面具有与所述第一表面相距第一距离的第一部分、与所述第一表面相距第二距离的第二部分、以及在所述第一部分和所述第二部分之间延伸的第三部分；蜂巢状结构，所述蜂巢状结构具有限定并分开从所述第一表面延伸到所述第二表面的各个孔隙的壁，其中所述各个孔隙包括：在中心区域中的第一多个六边形孔隙，所述第一多个六边形孔隙中的每一者具有第一深宽比，并且从所述第一表面延伸到所述第二表面的所述第二部分；在周边区域中的第二多个非六边形孔隙，所述第二多个非六边形孔隙中的每一者具有小于所述第一深宽比的第二深宽比，并且从所述第一表面延伸到所述第二表面的所述第一部分；以及在过渡区域中的第三多个孔隙，所述过渡区域被设置为从所述周边区域到所述中心区域，其中，限定所述过渡区域的所述第三多个孔隙中的每一者的所述壁的至少一者包括所述第二表面的第三部分，并且所述第二表面的所述第三部分沿着圆锥形投影延伸；以及遮蔽部分，所述遮蔽部分与所述准直器部分耦接，所述遮蔽部分包括：顶环；支撑凸缘，所述支撑凸缘位于所述顶环下方，所述支撑凸缘径向向外延伸；以及圆柱形带，所述圆柱形带从所述支撑凸缘向下延伸到所述第一多个六边形孔隙的下方的某个高度处。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 应用材料公司 用于PVD溅射腔室的可偏压式通量优化器/准直器
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