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申请/专利权人：山东厚发芯源科技有限公司
摘要：本实用新型涉及半导体芯片制造相关技术领域，具体涉及一种双面摆放铜片氮化硅治具，包括：底座，为装置的底部构件，在表面开设有滑槽，滑杆，滑动安装在滑槽内，固定板，固定连接在滑杆顶部，夹具，活动安装在固定板内侧，一号旋钮，活动安装在底座侧面。通过转动二号旋钮，二号齿轮转动，传动并使一号齿轮旋转，从而带动转盘和内侧的夹具转动，进而带动夹具中间的芯片转动，达到调整角度的效果，提高了制造的精准性，减少调整芯片角度的操作性，进而提升人员工作效率；通过在连接块两端固定连接子夹具，再通过传动结构将两块待处理半导体芯片夹持在上下两子夹具之间，实现同时夹持并处理两个芯片或元件，提高了生产效率。
主权项：1.一种双面摆放铜片氮化硅治具，其特征在于，包括：底座1，其为装置的底部构件，在其表面开设有滑槽2；滑杆3，其滑动安装在所述滑槽2内；固定板4，其固定连接在所述滑杆3顶部；夹具5，其活动安装在所述固定板4内侧；一号旋钮9，其活动安装在所述底座1侧面；固定杆6，其均固定连接在所述底座1上方，并位于滑槽2的两端；限位杆7，其固定连接在所述固定杆6的中间；二号旋钮10，其通过连接轴与二号齿轮11固定连接，并活动安装在固定板4侧面；二号齿轮11，其设置在一号齿轮12侧面，并与其相啮合，同时二号齿轮11同样活动安装在固定板4内；所述夹具5还包括：连接块17，其为所述夹具5的组成构件之一；子夹具16，固定连接在所述连接块17两端；限位槽15，其开设在转盘14侧面，通过限位槽15将转盘14限位在固定板4内；一号齿轮12，其固定连接在所述转盘14外侧，且位于固定板4内；安装孔13，其开设在一号齿轮12、转盘14、固定板4和连接块17内，并将限位杆7活动安装在安装孔13内；所述转盘14，其固定连接在所述连接块17外侧，同时活动安装在固定板4内；所述子夹具16，整体为半圆筒状，同时在圆筒内壁上装有铜片，增强子夹具16的导电性。
全文数据：
权利要求：
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