申请/专利权人:广州市艾佛光通科技有限公司
申请日:2024-04-03
公开(公告)日:2024-06-07
公开(公告)号:CN118157619A
主分类号:H03H9/17
分类号:H03H9/17;H03H9/02
优先权:
专利状态码:在审-实质审查的生效
法律状态:2024.06.25#实质审查的生效;2024.06.07#公开
摘要:本申请涉及体声波谐振器技术领域,具体提供了一种具有横波反射结构的体声波谐振器,其包括:由下至上依次连接的衬底、底电极、压电层和顶电极,衬底顶部设有声反射镜;横波反射层,位于衬底上方且与顶电极连接,用于反射横波,其在俯视方向上的投影的外边界不超出声反射镜在俯视方向上的投影的外边界;其能够尽可能地降低由于横波的传播会带走能量而导致体声波谐振器的品质因数衰减的影响,进而有效地提高体声波谐振器的品质因数和电性能。
主权项:1.一种具有横波反射结构的体声波谐振器,其特征在于,所述具有横波反射结构的体声波谐振器包括:由下至上依次连接的衬底、底电极、压电层和顶电极,所述衬底顶部设有声反射镜;横波反射层,位于所述衬底上方且与所述顶电极连接,用于反射横波,其在俯视方向上的投影的外边界不超出所述声反射镜在俯视方向上的投影的外边界。
全文数据:
权利要求:
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