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申请/专利权人：曾泽斌
申请日：2024-04-11
公开（公告）日：2024-06-07
公开（公告）号：CN118156200A
主分类号：H01L21/677
分类号：H01L21/677;H01L21/683;H01L21/67;C23C16/458;C23C16/52
优先权：
专利状态码：在审-实质审查的生效
法律状态：2024.06.25#实质审查的生效;2024.06.07#公开
摘要：本发明公开了一种碳化硅外延衬底片精密装片装置及应用方法。装置包括立柱、吸片盘升降装置、水平横梁、摄像头、承载环座、X方向位移平台、Y方向位移平台；立柱用于支撑水平横梁；水平横梁用于安装吸片盘升降装置和摄像头，吸片盘升降装置用于升降吸片盘；X方向位移平台、Y方向位移平台用于移动和安放承载环座，承载环座上安放承载环；X方向位移平台设有X方向位移电机；Y方向位移平台设有Y方向位移电机；摄像头用于拍摄衬底片边沿、承载环边沿的照片，计算机根据衬底片边沿与承载环边沿的距离，控制X方向位移平台、Y方向位移平台的移动。本发明可以实现半自动或手动将将碳化硅衬底片抛光正面朝下准确安放在承载环上，装片过程中用于外延生长的抛光正面不与任何外物接触。
主权项：1.一种碳化硅外延衬底片精密装片装置，其特征在于，包括立柱、吸片盘升降装置、水平横梁、摄像头、承载环座、X方向位移平台、Y方向位移平台；立柱用于支撑水平横梁；水平横梁用于安装吸片盘升降装置和摄像头，吸片盘升降装置用于升降吸片盘；X方向位移平台、Y方向位移平台用于移动和安放承载环座，承载环座上安放承载环；X方向位移平台设有X方向位移电机；Y方向位移平台设有Y方向位移电机；摄像头用于拍摄衬底片边沿、承载环边沿的照片，计算机根据衬底片边沿与承载环边沿的距离，控制X方向位移平台、Y方向位移平台的移动。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 曾泽斌 一种碳化硅外延衬底片精密装片装置及应用方法
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