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申请/专利权人：日本碍子株式会社
申请日：2021-02-02
公开（公告）日：2024-06-07
公开（公告）号：CN113207201B
主分类号：H05B3/02
分类号：H05B3/02;H05B3/26;H01L21/67
优先权：["20200203 JP 2020-016112"]
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.06.07#授权;2021.08.20#实质审查的生效;2021.08.03#公开
摘要：本发明提供一种陶瓷加热器。陶瓷加热器10具备：在表面具有晶片载置面20a的陶瓷板20；埋设在陶瓷板20中的电阻发热体22、24；从陶瓷板20的背面20b支撑陶瓷板20的筒状轴40；以及从陶瓷板20的背面20b中被筒状轴40包围的轴内区域20d的起点26s到达陶瓷板20的外周部的末端位置26e的热电偶通路26。热电偶通路26具有：设置在从起点26s到末端位置26e之间的中间位置26m的台阶部26b；从起点26s到达末端位置26e的长距离部；以及从起点26s到达中间位置26m的短距离部。
主权项：1.一种陶瓷加热器，其具备：陶瓷板，其在表面具有晶片载置面；电阻发热体，其埋设在所述陶瓷板中；筒状轴，其从所述陶瓷板的背面支撑所述陶瓷板；以及热电偶通路，其从所述陶瓷板的所述背面中的被所述筒状轴包围的轴内区域的起点到达所述陶瓷板的外周部的末端位置，所述热电偶通路具有：台阶部，其设置在从所述起点到所述末端位置之间的中间位置；长距离部，其从所述起点到达所述末端位置；以及短距离部，其从所述起点到达所述中间位置，从所述起点到所述中间位置为止是所述长距离部和所述短距离部成为一体的宽幅通路，从所述中间位置到所述末端位置为止是仅所述长距离部的窄幅通路，所述电阻发热体在将所述晶片载置面分割成多个而得到的各个区域中布线，所述末端位置和所述中间位置设置在互不相同的区域。
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