申请/专利权人：浙江一晶科技股份有限公司

申请日：2021-06-09

公开（公告）日：2024-06-07

公开（公告）号：CN113376961B

主分类号：G03F7/004

分类号：G03F7/004;C23C14/18;C23C14/16;C23C14/34;C23C14/24;C23C14/02;C23C14/58;B08B3/12

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.06.07#授权;2021.09.28#实质审查的生效;2021.09.10#公开

摘要：本发明公开了一种石英音叉的加工方法，包括以下步骤：a：将配制后的处理液倒入烧杯内，同时将石英音叉元件均匀的布置在烧杯内，将烧杯放入超声波槽内进行超声，超声后排出烧杯内处理液，将烧杯内的石英音叉元件用冷热交替纯水流水冲洗，再用去离子水流水冲洗，并进行二次超声；b：采用真空溅射和真空热蒸发对基本元件进行镀膜；c：采用光刻机将石英音叉元件第一面进行光刻；d：将第一面光刻后的石英音叉元件放入腐蚀液中；e：采用光刻机套刻第二面音叉图形，采用黑白十字标记套准；f：将第二面光刻后的基本元件放入腐蚀液中，剥离除光刻胶；g：采用氢氟酸和氟化铵溶液对基本元件进行化学腐蚀。

主权项：1.一种石英音叉的加工方法，其特征在于：包括以下步骤：a：对石英音叉元件清洁，将配制后的处理液倒入烧杯内，同时将石英音叉元件均匀的布置在烧杯内，将烧杯放入超声波槽内进行超声，超声后排出烧杯内处理液，将烧杯内的石英音叉元件用冷热交替纯水流水冲洗，再用去离子水流水冲洗，将冲洗后的石英音叉元件和C2H5OH倒入烧杯内二次超声，二次超声后排出C2H5OH并对石英音叉元件烘干；b：镀制CrAu掩模，将清洁完成后的石英音叉元件固定在掩模夹具上，采用真空溅射和真空热蒸发对基本元件进行镀膜，对基本元件镀制两层金属膜，第一层为Cr膜，第二层为Au膜；c：光刻音叉第一面，采用光刻机将石英音叉元件第一面进行光刻；d：音叉第一面掩模刻蚀，将第一面光刻后的石英音叉元件放入腐蚀液中；e：套刻音叉第二面，采用光刻机套刻第二面音叉图形，采用黑白十字标记套准；f：音叉第二面掩模刻蚀，将第二面光刻后的基本元件放入腐蚀液中，剥离除光刻胶；g：石英化学腐蚀，采用氢氟酸和氟化铵溶液对基本元件进行化学腐蚀；还包括用于对石英音叉元件的清洗设备，所述清洗设备包括超声波槽1、设于超声波槽上方的电动导轨2、固定设于超声波槽上用于驱动电动导轨升降的液压缸3、可移动设于电动导轨上的滑座4、固定设于滑座上的烧杯5、设于超声波槽上的热储水箱6及冷储水箱7、可移动设于超声波槽上的第一密封板8及第二密封板9、可移动贯穿设于第一密封板上的第一空心管10、可移动贯穿设于第二密封板上的第二空心管11、等距阵列且两端分别插入第一空心管和烧杯内的多个第一连接管12、等距阵列且两端分别插入第二空心管和烧杯内的多个第二连接管13、设于超声波槽上的进气腔14、设于超声波槽底部的多个吹气孔15、设于吹气孔内的橡胶喷嘴16、固定设于超声波槽上的第三密封板17、贯穿可移动设于第三密封板上且分别固定设于第一密封板和第二密封板上的空心板18、设于空心板一端的第四密封板19、固定设有第三密封板上用于驱动第四密封板移动的第一气缸20、设于热储水箱上的第一排水管21、设于冷储水箱上的第二排水管22、设于热储水箱内的第一过滤板23、设于冷储水箱内的第二过滤板24、设于第一空心管内的第一电磁阀25、设于第二空心管内的第二电磁阀26、设于滑座上的第三空心管27及第四空心管28；多个所述第一连接管由上到下内径依次变大设置；多个所述第二连接管由上到下内径依次变大设置；所述烧杯5包括本体51、与本体配合的放料架52、设于本体上的第一密封条53及第二密封条54、设于放料架上的第三密封条55及第四密封条56、可移动贯穿设于放料架上的两个第一导向柱57和两个第二导向柱58及两个第三导向柱59、固定设于两个第一导向柱上的第五密封条510、固定设于两个第二导向柱上的第六密封条511、固定设于两个第三导向柱上的第七密封条512、两端分别固定设于放料架和第五密封条上的第一弹簧513、两端分别固定设于放料架和第六密封条上的第二弹簧514、两端分别固定设于放料架和第七密封条上的第三弹簧515、转动设于放料架上的第一齿轮516、一端固定设于第五密封条上且与第一齿轮啮合设置的第一齿条517、一端固定设于第六密封条上且与第一齿轮啮合设置的第二齿条518、一端固定设于第七密封条上且与第一齿轮啮合设置的第三齿条519；所述烧杯5还包括设于放料架第三密封条上的穿孔520、与穿孔对应固定设于第一密封条上的固定杆521、可移动设于固定杆上的滑块522、转动设于滑块上的转杆523、一端固定设于转杆上的第四弹簧524及第五弹簧525、两端分别固定设于固定杆和转杆上的第六弹簧526、转动设于本体上的棘轮527、两端分别固定设于棘轮和滑块上的拉绳528、一端转动设于本体上的扭杆529、一端固定设于扭杆上且与棘轮配合的卡板530、固定设于棘轮上的把手531；所述烧杯5还包括固定设于本体上的基座532、转动设于基座上的空心运输带533、设于基座上的进水孔534、转动设于基座上且与空心运输带啮合设置的第二齿轮535、固定设于超声波槽上的第二气缸536、固定设于第二气缸上的第四齿条537、等距设于空心运输带上的多个喷水管538、固定设于放料架上的第三过滤板539；所述烧杯5还包括等距间隔固定设于本体上的多个第一方形空心管540、与多个第一方形空心管一一对应固定设于放料架上的多个第二方形空心管541、设于第二方形空心管上的放料槽542、贯穿可移动设于第一方形空心管和第二方形空心管上的第一移动板543和第二移动板544及第三移动板545、设于放料槽处的四个第一空腔546和四个第二空腔547及四个第三空腔548、可移动设于第一空腔内的第一推板549、可移动设于第二空腔内的第二推板550、可移动设于第三空腔内的第三推板551、固定设于第一推板上的第一支杆552、固定设于第二推板上的第二支杆553、固定设于第三推板上的第三支杆554、转动设于第一支杆前端的第一滚珠555、转动设于第二支杆前端的第二滚珠556、转动设于第三支杆前端的第三滚珠557、两端固定设于第一推板和第二方形空心管上的第七弹簧558、固定设于第二推板和第二方形空心管上的第八弹簧559、固定设于第三推板和第二方形空心管上的第九弹簧560、等距环形分布设于放料槽处的多个第一通孔561和多个第二通孔562及多个第三通孔563、等距间隔设于第一移动板上的多个第四滚珠564、等距间隔设于第二移动板上的多个第五滚珠565、等距间隔设于第三移动板上的多个第六滚珠566、两端固定设于第四滚珠和第一移动板上的第十弹簧567、两端固定设于第五滚珠和第二移动板上的第十一弹簧568、两端固定设于第六滚珠和第三移动板上的第十二弹簧569。

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