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申请/专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日：2019-02-20
公开（公告）日：2024-06-07
公开（公告）号：CN111819663B
主分类号：H01L21/306
分类号：H01L21/306;H01L21/304;H01L21/683
优先权：["20180306 JP 2018-039883"]
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.06.07#授权;2020.12.25#实质审查的生效;2020.10.23#公开
摘要：本发明提供液处理装置和液处理方法。实施方式的液处理装置包括发热部件31a、基片保持部31、处理液供给部40和线圈32a。发热部件31a靠近基片的一部分地配置并具有隔热部件31b。基片保持部31保持基片。处理液供给部40向保持于基片保持部31的基片上供给处理液。线圈32a通过对发热部件31a进行感应加热来对基片的一部分进行加热。
主权项：1.一种液处理装置，其特征在于，包括：发热部件，其靠近基片的一部分地配置并具有隔热部件；保持所述基片的基片保持部；向保持于所述基片保持部的所述基片上供给处理液的处理液供给部；和通过对所述发热部件进行感应加热来对所述基片的一部分进行加热的线圈，所述发热部件和所述线圈设置多个，多个所述发热部件和所述线圈能够在基片的多个部位所述处理液的处理能力不同的情况下，对所述基片的多个部位单独地进行加热，以使所述处理液的处理能力在所述基片的面内一致，或者使所述面内的所述处理液的处理能力根据部位的不同而改变。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 东京毅力科创株式会社 液处理装置和液处理方法
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