申请/专利权人：合肥晶合集成电路股份有限公司

申请日：2024-03-07

公开（公告）日：2024-06-07

公开（公告）号：CN117850154B

主分类号：G03F1/36

分类号：G03F1/36

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.06.07#授权;2024.04.26#实质审查的生效;2024.04.09#公开

摘要：本发明提供了一种OPC修正方法及OPC修正系统。具体的，在确定出包含金属层版图或通孔层版图的原始版图的版图数据之后，基于该版图数据中所包含的具有边角的线条端点图形的线边边长，将所述线条端点图形的多条线边按照不同的长度划分成两个线边集合，然后针对所述两个线边集合分别采用不同的切分点分割间距进行线边的切分点设置，由于其在为金属层版图和或通孔层版图上的线条端点图形的边角所对应的线边进行切分点设置时，可以针对不同的线边边长设置不同的切分点分割间距，即保证了所述边角所对应的线边上至少可以设置一切分点且至少执行一次OPC修正，从而降低了线条端点图形上的多处凸角区域发生转角圆化效应的概率，提高了OPC的修正精度。

主权项：1.一种OPC修正方法，其特征在于，包括：确定原始版图的版图数据，所述原始版图为金属层版图或通孔层版图，所述原始版图上包括具有边角的线条端点图形，所述版图数据包括所述线条端点图形的各线边的边长；基于所述各线边的边长，将所述线条端点图形的线边划分为第一线边、第二线边以及包含多条所述第一线边的第一线边集合和包含多条所述第二线边的第二线边集合，其中所述第一线边的边长大于所述第二线边的边长，且所述第二线边为边长小于第一设定长度A的2倍的线边；采用不同的切分点分割间距，对所述第一线边集合中的第一线边和所述第二线边集合中的第二线边分别进行切分点设置，以得到多段线段，所述线段包括围成所述边角的线边在设置切分点后所得到的线边片段；对每段所述线段进行OPC修正，并计算执行完本次OPC修正后的边缘位置误差，若所述边缘位置误差不小于预设误差阈值，则对所述线段再次进行OPC修正，直至达到预设OPC迭代总次数或所述边缘位置误差小于所述预设误差阈值；其中，划分所述第一线边集合和所述第二线边集合的步骤，包括：将所述线条端点图形上的每条线边的边长与第一设定长度A的2倍进行比对，并将边长不小于所述第一设定长度A的2倍的线边组成所述第一线边集合，将边长小于所述第一设定长度A的2倍的线边组成所述第二线边集合；且采用不同的切分点分割间距，对所述第一线边集合中的第一线边和所述第二线边集合中的第二线边分别进行切分点设置的步骤，还包括：从所述第二线边集合中的每条第二线边的两个线边端点开始，以第二设定长度B为间距，在其上预标记两个虚拟切分点，并确定所述两个虚拟切分点之间的线边长度是否大于B；若不大于B，则在该线边的中点位置处设置一切分点；若大于B，则在所述两个虚拟切分点的位置处分别设置一切分点，且将该切分点作为该线边的剩余线边片段所对应的线边端点，并返回执行以所述第二设定长度B为间距，在其上预标记两个虚拟切分点，确定所述两虚拟切分点之间的线边长度是否大于B的步骤；其中，所述B﹤A。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 合肥晶合集成电路股份有限公司 一种OPC修正方法及OPC修正系统

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