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申请/专利权人：隆基绿能科技股份有限公司
申请日：2023-11-06
公开（公告）日：2024-06-07
公开（公告）号：CN221094258U
主分类号：C23C14/32
分类号：C23C14/32
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.06.07#授权
摘要：本申请实施例提供了一种炉缸组件和成膜设备。所述炉缸组件包括：炉缸，所述炉缸内设置有用于靶材通过的通道；以及顶升机构，所述顶升机构活动连接于所述通道的底部，所述顶升机构用于驱动所述靶材在所述通道内上升；其中，所述炉缸在所述通道的侧壁上设置有熔靶储存部，所述熔靶储存部用于储存熔融的靶材。本申请实施例中，所述熔靶储存部可以储存熔融的靶材，避免熔融的靶材粘连在所述侧壁和固体状的靶材之间造成卡靶。从而，可以避免卡靶对生产进度的影响，极大的提高应用了所述炉缸组件的成膜设备的生产效率。
主权项：1.一种炉缸组件，其特征在于，所述炉缸组件包括：炉缸，所述炉缸内设置有用于靶材通过的通道；以及顶升机构，所述顶升机构11活动连接于所述通道的底部，所述顶升机构用于驱动所述靶材在所述通道内上升；其中，所述炉缸在所述通道的侧壁上设置有熔靶储存部，所述熔靶储存部用于储存熔融的靶材。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 隆基绿能科技股份有限公司 一种炉缸组件和成膜设备
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