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一种化学气相沉积炉的炉底加热控制装置 

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申请/专利权人:辽宁烯旺石墨科技有限公司

摘要:本实用新型公开了一种化学气相沉积炉的炉底加热控制装置,涉及特种设备技术领域,包括底板,所述底板的端面镶嵌有反应炉壁,所述反应炉壁的上端面固定连接有反应炉盖开合伸缩杆,所述反应炉壁的下端面固定连接有反应炉底部加热控制箱,所述反应炉壁的侧端面开有反应气体进出口,所述反应气体进出口延伸至反应炉壁的内部,所述反应炉壁的上端面转动连接有反应炉封闭盖,所述反应炉壁的内部固定连接有反应腔壁。本实用新型通过将反应气体从反应气体进出口中引入设备的内部,将反应气体从反应气体喷出口中沿四个方向均匀地将气体排入反应腔中,使其附着在反应物体上,使其反应更加的均匀,提高了反映的速率和质量。

主权项:1.一种化学气相沉积炉的炉底加热控制装置,包括底板1,所述底板1的端面镶嵌有反应炉壁3,所述底板1的下底面固定连接有支撑腿2,所述反应炉壁3的上端面固定连接有反应炉盖开合伸缩杆10,其特征在于:所述反应炉壁3的下端面固定连接有反应炉底部加热控制箱4,所述反应炉底部加热控制箱4的侧端面开有线缆进出口5,所述反应炉底部加热控制箱4的内部下端面固定连接有加热装置电源箱15,所述反应炉壁3的侧端面开有反应气体进出口6,所述反应气体进出口6延伸至反应炉壁3的内部,所述反应炉壁3的上端面固定连接有密封胶圈8,所述反应炉壁3的上端面转动连接有反应炉封闭盖9,所述反应炉封闭盖9的下端面与反应炉盖开合伸缩杆10的输出端上端面相转动连接,所述反应炉壁3的内部固定连接有反应腔壁11。

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权利要求:

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