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用于Micro LED激光巨量转移技术的载体玻璃清洗装置 

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申请/专利权人:河北光兴半导体技术有限公司;北京盛达众安科技有限公司

摘要:本申请提供一种用于MicroLED激光巨量转移技术的载体玻璃清洗装置,包括:清洗模块,清洗模块包括清洗平台和清洗箱,清洗箱设置在清洗平台上,清洗箱包括清洗箱主体、载体玻璃容器和设置在清洗箱主体内壁的超声波发生器,载体玻璃容器包括多个载体玻璃容纳槽。本申请的技术方案有效地解决了现有的激光巨量转移技术中载体玻璃清洁方法繁琐和清洁效率低下的问题。

主权项:1.一种用于MicroLED激光巨量转移技术的载体玻璃清洗装置,其特征在于,包括:清洗模块10,所述清洗模块10包括清洗平台11和清洗箱12,所述清洗箱12设置在所述清洗平台11上,所述清洗箱12包括清洗箱主体121、载体玻璃容器122和设置在清洗箱主体121内壁的超声波发生器123,所述载体玻璃容器122包括多个载体玻璃容纳槽1221,所述清洗装置还包括传送模块40,所述传送模块40包括第一传送带结构41和第二传送带结构42,所述清洗模块10设置在所述第一传送带结构41的第二端和所述第二传送带结构42的第一端之间,所述载体玻璃清洗装置还包括取料机械臂50,所述取料机械臂50位于所述清洗模块10和所述第一传送带结构41之间,所述清洗箱主体121设置有进液口1211和排液口1212,所述载体玻璃容器122的侧壁设置有多个液体流通孔,所述进液口1211设置在所述清洗箱主体121的上部,所述进液口1211位置高度高于所述清洗箱主体121液位高度,所述排液口1212设置在所述清洗箱主体121的下部,所述清洗箱12还包括液位传感器124,所述液位传感器124设置在所述清洗箱主体121的内侧壁,各所述载体玻璃容纳槽1221的槽壁为设置有多个通孔的立板,多个所述通孔在各所述立板上均匀地呈阵列分布,各所述载体玻璃容纳槽1221的宽度大于载体玻璃的厚度,所述载体玻璃容纳槽1221的长度大于所述载体玻璃的宽度。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 河北光兴半导体技术有限公司 北京盛达众安科技有限公司 用于Micro LED激光巨量转移技术的载体玻璃清洗装置

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