龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
申请/专利权人：青岛旭芯互联科技研发有限公司;东旭科技集团有限公司
申请日：2023-09-27
公开（公告）日：2024-06-07
公开（公告）号：CN221094256U
主分类号：C23C14/30
分类号：C23C14/30
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.06.07#授权
摘要：本申请提供一种靶材，涉及电子束蒸发镀膜技术领域。靶材呈锥台状，靶材的上顶直径为L，下底直径为M，满足，1.1＜LM＜1.2。靶材设置为锥台状，使得靶材的形状可以和坩埚适配，靶材的侧壁面可以和坩埚的内侧壁面接触，增加了靶材的散热效果。当靶材的上顶直径L和下底直径M满足1.1＜LM＜1.2时，既保证了靶材的上顶面的面积足够大，进而保证了镀膜形成的膜层均匀性。又使得下底面的面积足够大，提高了靶材的散热效果。
主权项：1.一种靶材，其特征在于，所述靶材1呈锥台状，所述靶材1的上顶直径为L，下底直径为M，满足，1.1＜LM＜1.2。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 青岛旭芯互联科技研发有限公司;东旭科技集团有限公司 靶材以及蒸发组件
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号