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申请/专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日：2021-10-28
公开（公告）日：2024-06-18
公开（公告）号：CN113857792B
主分类号：B23P15/00
分类号：B23P15/00;B23K20/02;B23K20/24
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.06.18#授权;2022.01.21#实质审查的生效;2021.12.31#公开
摘要：本发明提供一种三角形焊接型靶材组件及其制备方法，所述制备方法包括以下步骤：1制备三角形靶材和具有对应三角形凹槽的背板；2组装三角形靶材和背板，经过热等静压焊接后，得到中间组件；3将中间组件进行后处理，得到三角形焊接型靶材组件；其中，步骤1所述背板上与凹槽相对的平面均匀分布有至少2个定位孔；步骤2所述热等静压焊接以背板作为包套底板。本发明提供的制备方法提升了焊接和机加工的定位精确性，避免了出现偏心现象。
主权项：1.一种三角形焊接型靶材组件的制备方法，其特征在于，所述制备方法包括以下步骤：（1）制备三角形靶材和具有对应三角形凹槽的背板；（2）在无尘环境中，将三角形靶材水平放置于背板的对应三角形凹槽内，经过热等静压焊接后，得到中间组件；（3）将中间组件依次进行第一车削、沉孔加工、螺纹孔加工、第二车削、槽加工和成品加工，得到三角形焊接型靶材组件；其中，步骤（1）所述背板上与凹槽相对的平面均匀分布有至少2个定位孔；步骤（2）所述热等静压焊接以背板作为包套底板；步骤（3）所述沉孔加工在背板上与定位孔相对的位置进行加工，得到均匀分布的至少2个沉孔；所述螺纹孔加工在背板上与凹槽相对的平面进行加工，得到均匀分布的至少4个螺纹孔；所述槽加工在靶材的溅射面边缘进行加工，得到O型密封槽。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 宁波江丰电子材料股份有限公司 一种三角形焊接型靶材组件及其制备方法
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