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申请/专利权人：安徽四象半导体材料科技有限公司
申请日：2024-03-27
公开（公告）日：2024-06-11
公开（公告）号：CN118162701A
主分类号：B23H1/00
分类号：B23H1/00
优先权：
专利状态码：在审-公开
法律状态：2024.06.11#公开
摘要：本发明提供一种限定环制造方法、限定环加工电极。其限定环加工电极包括电火花加工工艺所使用的工作电极包括若干成型电极，所述成型电极的截面形状与所述排气槽的截面形状互相补偿，若干所述成型电极的排布方式与所述排气槽的排布方式相同。其限定环制造方法中一次电火花加工包括深度方向进给过程，工作电极沿深度方向蚀除限定环至至少超过排气槽的深度；若干所述成型电极同时完成对应的多个排气槽的加工。该限定环制造方法应用了电火花加工工艺加工排气槽，且实现了多个排气槽并行同时加工处理，显著提升了限定环的生产效率。该限定环制造方法还有助于降低加工过程对限定环的表层材料的影响，提高限定环的良品率与质量稳定性。
主权项：1.一种限定环制造方法，其特征在于，包括使用电火花加工工艺制作限定环W的排气槽W1的步骤，电火花加工工艺所使用的工作电极1包括若干成型电极11，所述成型电极11的截面形状与所述排气槽W1的截面形状互相补偿，若干所述成型电极11的排布方式与所述排气槽W1的排布方式相同；一次电火花加工包括深度方向进给过程，在工作电极1与限定环W之间脉冲电源作用下，控制工作电极1沿深度方向不断进给蚀除限定环W的材料至至少超过排气槽W1的深度；若干所述成型电极11能够同时完成对应的多个排气槽W1的加工，通过在若干次电火花加工时，改变所述工作电极1与所述限定环W之间绕同一中心的转角完成所述限定环W的所有所述排气槽W1的加工。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 安徽四象半导体材料科技有限公司 限定环制造方法、限定环加工电极
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