龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
申请/专利权人：ASML荷兰有限公司
申请日：2019-10-22
公开（公告）日：2024-06-11
公开（公告）号：CN112969968B
主分类号：G03F7/20
分类号：G03F7/20
优先权：["20181108 US 62/757,397"]
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.06.11#授权;2021.07.02#实质审查的生效;2021.06.15#公开
摘要：本文中描述的是一种用于确定概率模型的方法，该概率模型被配置为预测受图案化处理的衬底的图案的特性例如，缺陷、CD等。该方法包括获取与衬底上的图案的特性相对应的残差的分布的空间图，基于在空间图内的残差的分布的变化来确定空间图的区域，以及基于区域和区域内的衬底上的残差的值的分布或图案的特性的值的分布来确定概率模型。
主权项：1.一种用于确定概率模型的方法，所述概率模型被配置为预测受图案化过程的衬底上的图案的特性，所述方法包括：获取与所述衬底上的所述图案的所述特性相对应的残差的分布的空间图；经由计算系统基于在所述空间图内的所述残差的所述分布的变化来确定所述空间图的区域；以及经由所述计算系统基于所述区域和所述区域内的所述衬底上的所述残差的值的所述分布或所述图案的所述特性的值的所述分布来确定所述概率模型。
全文数据：
权利要求：
百度查询： ASML荷兰有限公司 基于过程变化度的空间特性对不合格的预测
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号